Bằng sử dụng các sản phẩm này cùng với các máy bơm khô, Bơm chân không quay dầu hoặc các máy bơm kín nước, các bơm tăng áp cơ khí có thể làm tăng tốc độ hút chân không trong dải 1 kPa đến 0.1 Pa, khi máy bơm tốc độ hút chân không thô nhỏ giọt. Các model trong Dòng sản phẩm PRC-A là các thế hệ kế tiếp của các model PMB-006C(M), và PMB-012C(M) của ULVAC. Như Dòng sản phẩm PMB-C(M), chúng các máy bơm gốc được thiết kế cho ứng dụng tổng hợp, cũng như các quy trình sản xuất chất bán dẫn và LC mà đòi hỏi một môi trường không khí rất sạch bên trong và bên ngoài máy bơm. Dòng sản phẩm PMB-C lý tưởng cho ứng dụng mục đích tổng hợp và ứng dụng sạch. Dòng sản phẩm PMB-B lý tưởng cho hút chân không công suất lớn, như cho các lò nung xử lý nhiệt và các lò nung nấu chảy.
Các tính năng
§ Không dầu
Không có dầu bôi trơn trong buồng vỏ máy, cho phép có hiệu suất ổn định cho hơi nước hoặc hơi dung môi.
§ Khả năng chống ăn mòn
Các bề mặt của mọi phần chính đã được phủ bề mặt đặc biệt để đem lại khả năng chống ăn mòn tuyệt với và độ bền bề mặt.
Sự ma sát và ăn mòn của các bề mặt bơm trong máy bơm được giảm nhiều. (Đặc biệt lớp phủ bề mặt chỉ được làm cho Dòng sản phẩm PRC-A / PMBC(M)).
PMB-CM/PRC-A (hiệu quả khi đạt được sự hút chân không nhanh hơn) có thể được được khởi động tại cùng thời điểm do máy bơm thô được dẫn động bởi áp suất không khí, cho phép hút chân không nhanh hơn Kiểu tiêu chuẩn.
§ Hướng hút chân không có thể được lựa chọn (PMB-024C(M), 040B, 060B).
Hướng hút chân không dọc hoặc ngang có thể được lựa chọn, cho các hệ thống nhỏ gọn hơn với thiết kế lớn hơn.
Quy cách kỹ thuật
Hạng mục
|
PMB-
001C, CM |
PMB-
003C, CM |
PRC-
003A |
PRC-
006A | |||
Tốc độ hút chân không hiệu quả
(m3/giờ(Lít/phút)) (*1) |
50Hz
|
95
(1580) |
280
(4670) |
280
(4670) |
500
(8330) | ||
60Hz
|
115
(1920) |
330
(5500) |
330
(5500) |
600
(10000) | |||
Áp suất hút tối đa
(Pa; Chỉ dành cho PMB-C)(*2) |
50Hz
|
9.3 x 103
|
1.2 x 103
|
1.3 x 103
| |||
60Hz
|
6.2 x 103
|
9.3 x 103
|
1.1 x 103
| ||||
Chênh lệch áp suất cho phép tối đa
(Pa; Chỉ dành cho PMB-C)(*2) |
50Hz
|
8.0 x 103
|
4.0 x 103
|
7.3 x 103
| |||
60Hz
|
5.6 x 103
|
3.3 x 103
|
6.0 x 103
| ||||
Áp suất cuối cùng (Pa) (*3)
|
4.0 x 10-1
| ||||||
Áp suất điều khiển hỗ trợ (Pa)
(*4) |
to 1.0 x 105 (PRC-A,PMB-CM)
| ||||||
Công suất động cơ (kW)
(số cực) (*5) |
0.4(2)
|
0.75(2)
|
2.2(2)
| ||||
Dầu (*6)
|
ULVDầU R-4
| ||||||
Lượng dầu cần thiết (L)
(*7) |
0.35
|
0.7
|
1.5
| ||||
Nước làm mát
|
Phương pháp làm mát
|
Không khí được làm mát
|
Không khí được làm mát, nước được làm mát
|
Nước được làm mát
| |||
Áp suất cơ bản
(MPa) |
-
|
0.3
| |||||
Áp suất chênh lệch ĐẦU RA/ĐẦU VÀO (MPa)
|
-
|
0.05
|
0.01
| ||||
Tốc độ lưu lượng
(lít/phút) |
-
|
2
| |||||
Nhiệt độ
(ºC) |
-
|
5 đến 30
| |||||
Kích cỡ đầu hút
(JIS B 2290) |
Cỡ VG50
|
Cỡ VG80
|
Cỡ VG100
| ||||
Kích cỡ lỗ thông gió
(JIS B 2290) |
VF50 cỡ
|
Cỡ VF80
| |||||
Kích thước bên ngoài
(Dài x Rộng x Cao; mm) |
271 x 580 x 180
|
290 x 656 x 260
|
296 x 565 x 260
|
356 x 619 x 320
| |||
Trọng lượng (kg) (*8)
|
23(24)
|
46(48)
|
51(54)
|
86(90)
| |||
Tiêu chuẩn
bơm phụ |
VD401
|
VD601
|
VD901
| ||||
Thiết bị chọn thêm
|
-
|
các động cơ 1.5 kW (2)
|
Kiểu điều khiển áp suất không khí
| ||||
Hỗ trợ hút chân không buồng bôi chơn
hút chân không
| |||||||
Model
Hạng mục
|
PRC-
012A |
PMB-
024C,CM |
PMB-
040B |
PMB-
060B | |||
Tốc độ hút chân không hiệu quả
(m3/giờ (lít/phút)) (*1) |
50Hz
|
1000
(16700) |
2000
(33300) |
3800
(63300) |
6200
(103300) | ||
60Hz
|
1200
(20000) |
2400
(40000) | |||||
Áp suất hút tối đa
(Pa; Chỉ dành cho PMB-C) (*2) |
50Hz
|
1.3 x 103
|
8.0 x 102
|
1.3 x 103
(5 phút trở xuống khi khởi động) 8.0 x 102 (trong khi vận hành liên tục) | |||
60Hz
|
1.1 x 103
|
6.7 x 102
| |||||
Chênh lệch áp suất cho phép tối đa (Pa; Chỉ dành cho PMB-C) (*2)
|
50Hz
|
7.3 x 103
|
5.6 x 103
|
-
|
-
| ||
60Hz
|
6.0 x 103
|
4.7 x 103
| |||||
Áp suất cuối cùng (Pa) (*3)
|
6.7 x 10-1
| ||||||
Áp suất điều khiển được hỗ trợ (Pa) (*4)
|
to 1.0 x 105 (PRC-A,PMB-CM)
| ||||||
Công suất động cơ (kW) (số cực) (*5)
|
3.7(2)
|
7.5(2)
|
15(4)
|
18.5(4)
| |||
Dầu (*6)
|
ULVDầU R-4
| ||||||
Lượng dầu cần thiết (L) (*7)
|
1.9
|
4.5(2.8)
|
6.5
| ||||
Nước làm mát
|
Phương pháp làm mát
|
Nước được làm mát
| |||||
Áp suất cơ bản (MPa)
|
0.3
|
0.1 đến 0.2
| |||||
Áp suất chênh lệch ĐẦU RA/ĐẦU VÀO (MPa)
|
0.01
|
0.05
| |||||
Tốc độ lưu lượng (lít/phút)
|
3
|
24
| |||||
Nhiệt độ (ºC)
|
5 đến 30
| ||||||
Kích cỡ đầu hút (JIS B 2290)
|
Cỡ VG100
|
Cỡ VG200
|
Cỡ VG250
|
Cỡ VG300
| |||
Kích cỡ lỗ thông gió (JIS B 2290)
|
Cỡ VF80
|
Cỡ VF200
|
Cỡ VF150
|
Cỡ VF200
| |||
Kích thước bên ngoài (Dài x Rộng x Cao; mm)
|
406 x 759 x 340
|
540 x 1237 x 470
|
764 x 1230 x 707
|
764 x 1470 x 707
| |||
Trọng lượng (kg) (*8) (*9)
|
118(123)
|
260(272)
|
950
(không động cơ) |
1150
(không động cơ) | |||
Tiêu chuẩn bơm phụ
|
VS1501
|
PKS-070
|
PKS-070 x 2
| ||||
Thiết bị chọn thêm
|
Kiểu dẫn động bởi áp suất không khí
|
các động cơ 11 kW (2)
|
Van nhánh, đường ống
| ||||
Hỗ trợ buồng hút chân không bôi trơn
|
-
|
-
| |||||
Chú ý:
|
Catalog này sử dụng các đơn vị đo lường SI. Việc chuyển đổi sang các đơn vị phi-SI như sau :
Áp suất cuối cùng : 4.0 x 10-1 Pa = 3.0 x 10-3 torr Áp suất: 0.05/0.1/0.2/0.3 MPa = 0.5/1/2/3 kgf/cm2 | ||||||
*1
|
Giá trị được đo tại 13 Pa
| ||||||
*2
|
Với chọn thêm động cơ công suất lớn, chênh lệch áp suất đầu hút và áp suất có thể được tăng lên.
| ||||||
*3
|
Được đo bằng Áp kế chân không pirani (bơm phụ và dầu tiêu chuẩn).
4.0 x 10-2 Pa với thiết bị đo chân không MacLeod | ||||||
*4
|
Cho PMB-024CM, thiết lập thời gian hút chân không lặp lại cho không khí/chân không (›655 Pa) dưới 5 phút, và thời gian nghỉ đến quy trình hút chân không sau ít nhất 5 phút.
| ||||||
*5
|
200 VAC 50/60 Hz; 200 VAC 60 Hz; 3-pha
| ||||||
*6
|
Các kiểu máy bơm dầu khác kiểu tiêu chuẩn là có sẵn. Xin liên hệ với ULVAC.
| ||||||
*7
|
Các giá trị lượng dầu trong ngoặc ( ): Cho các thực hiện hút chân không theo hướng ngang
| ||||||
*8
|
W = chiều rộng, D = chiều sâu, H = chiều cao
| ||||||
*9
|
Trọng lượng các giá trị trong ngoặc ( ): Các giá trị cho các model CM
| ||||||
Các model thuộc dòng sản phẩm PRC không sẵn có như kiểu chống cháy hoặc các kiểu tăng độ một toàn.
| |||||||
