Dòng sản phẩm PRC-A là các phiên bản cải tiến của các model PMB-003C(M), PMB-006C(M) và PMB-012C(M) được sử dụng lâu dài của ULVAC. Chúng có hiệu suất hút chân không với thấp hơn tiếng ồn và độ tin cậy lớn hơn, và lý tưởng cho sử dụng các môi trường nhạy cảm với bụi đất cần thiết cho các phòng sạch và các quy trình sản xuất bán dẫn và LC. Dòng sản phẩm PRC-A là các máy bơm chân không được thiết kế chủ yếu cho các quy trình đòi hỏi các môi trường không khí rất sạch. Chúng có thể được được sử dụng với các bơm phụ, để làm tăng tốc độ hút chân không trong dải 0 kPa đến 1.
Các tính năng
§ Không có rò rỉ dầu bên ngoài máy bơm.
Sử dụng các động cơ hàn kín loại bỏ các vòng đệm kín cơ khí và hoàn toàn loại bỏ dầu rò rỉ bên ngoài máy bơm. Không gây ô nhiễm môi trường xung quanh.
§ Tiếng ồn thấp
Sử dụng các động cơ hàn kín loại bỏ tiếng ồn gió từ các quạt làm mát không khí cho các động cơ có mục đích tổng hợp, cho phép các mức độ tiếng ồn thấp.
§ Không dầu
Không có dầu bôi trơn trong buồng vỏ máy, cho phép có hiệu suất ổn định cho hơi nước hoặc hơi dung môi.
§ Khả năng chống ăn mòn
Các bề mặt của mọi phần chính đã được phủ bề mặt đặc biệt để đem lại khả năng chống ăn mòn tuyệt với và độ bền bề mặt.
Sự ma sát và ăn mòn của các bề mặt bơm trong máy bơm được giảm nhiều. (Đặc biệt lớp phủ bề mặt chỉ được làm cho Dòng sản phẩm PRC-A / PMBC(M)).
§ Model được dẫn động bởi áp suất không khí là sẵn có (chọn thêm), hiệu quản trong việc giảm thời gian hút chân không
Sử dụng biến tần cho phép vận hành với đầu hút áp suất khởi động từ áp suất không khí. Có thể được khởi động tại cùng thời điểm như máy bơm hút chân không thô, cho phép hút chân không nhanh hơn các kiểu tiêu chuẩn.
Quy cách kỹ thuật
Model
Hạng mục
|
PRC-003A
|
PRC-006A
|
PRC-012A
| |
Tốc độ hút chân không hiệu quả
(m3/giờ (lít/phút)) (*1) |
50Hz
|
330
|
520
|
930
|
60Hz
|
330
|
630
|
1000
| |
Áp suất cuối cùng (Pa) (*2)
|
6.7 x10-1
| |||
Bơm phụ
|
LR/giờ60
|
LR/giờ90
|
LR/giờ90
| |
Áp suất hút tối đa (Pa) (ngoại trừ các Model dẫn động bởi áp suất không khí)
|
50Hz
|
1.2 x 103
|
1.3 x 103
|
1.3 x 103
|
60Hz
|
9.3 x 102
|
1.1 x 103
|
1.1 x 103
| |
Chênh lệch áp suất cho phép tối đa (Pa) (ngoại trừ các Model dẫn động bởi áp suất không khí)
|
50Hz
|
4.0 x 103
|
7.3 x 103
|
7.3 x 103
|
60Hz
|
3.3 x 103
|
6.0 x 103
|
6.0 x 103
| |
Áp suất điều khiển được hỗ trợ (Pa)
|
Đến 1.0 x 105 (chỉ dành cho các Model dẫn động bởi áp suất không khí)
| |||
Công suất động cơ (kW) (số cực) (*3)
|
0.75(2)
|
2.2(2)
|
3.7(2)
| |
Dầu (*4)
|
ULVDầU® R-4 hoặc FOMBLIN®
Y-L VAC 14/6 | |||
Lượng dầu cần thiết (l)
|
0.7
|
1.5
|
1.9
| |
Nước làm mát
|
Phương pháp làm mát
|
Nước được làm mát
| ||
Áp suất cơ bản (MPa)
|
0.1 đến 0.3
| |||
Áp suất chênh lệch ĐẦU RA/ĐẦU VÀO (MPa)
|
0.1<
| |||
Tốc độ lưu lượng (lít/phút)
|
2.0<
|
3.0<
| ||
Nhiệt độ (ºC)
|
5 đến 30
| |||
Kích cỡ đầu hút (JIS B 2290)
|
Cỡ VG80
|
Cỡ VG100
| ||
Kích cỡ lỗ thông gió (JIS B 2290)
|
Cỡ VF80
| |||
Kích thước bên ngoài (Dài x Rộng x Cao) (*5)
|
296 x 565 x 260
|
356 x 619 x 320
|
406 x 759 x 340
| |
Kích thước bên ngoài của các model dẫn động bởi áp suất không khí
|
296 x 651 x 260
|
366 x 740 x 320
|
426 x 911 x 340
| |
Trọng lượng (kg) (*6)
|
51(54)
|
86(90)
|
118(123)
| |
Chú ý:
|
Catalog này sử dụng Các đơn vị đo lường SI. Việc chuyển đổi sang các đơn vị phi-SI như sau :
Áp suất cuối cùng : 6.7 x 10-1 Pa = 5.0 x 10-3 torr Áp suất : 0.1/0.2/0.3 MPa = 1/2/3 kgf/cm2 | |||
*1
|
Giá trị được đo tại 13 Pa (Model được dẫn động bởi áp suất không khí)
| |||
*2
|
Được đo bằng áp kế chân không pirani (bơm phụ và dầu tiêu chuẩn )
| |||
*3
|
200 VAC 50/60 Hz; 200 VAC 60 Hz; 3-pha
| |||
*4
|
Khi cần có dầu, xác định kiểu. Các kiểu máy bơm dầu khác kiểu tiêu chuẩn đều có sẵn. Xin liên hệ với ULVAC.
| |||
*5
|
W = chiều rộng, D = chiều sâu, H = chiều cao
| |||
*6
|
Các giá trị khối lượng dầu trong ngoặc ( ) : Cho các model được dẫn động bởi áp suất không khí
| |||
*
|
Không sẵn có như kiểu chống cháy hoặc kiểu tăng độ một toàn.
| |||
