Các máy bơm chân không phun ion là một kiểu máy bơm được sử dụng để tạo các khoảng chân không siêu cao, và được sử dụng trong nhiều bộ phân tích và bộ gia tốc. Các máy bơm công tác của ULVAC được phát triển cho phép các máy bơm phun ion đơn để tạo các khoảng chân không siêu cao theo yêu cầu of 10-10 Pa. Chúng được thiết kế để phát triển các bộ phận mới (các bộ phận công tác) với các đặc tính hút chân không được cải tiến tại các khoảng chân không siêu cao và cực kỳ cao, và tối ưu hoá từ trường.
|
 | | | | | |||||
 |
Các tính năng§ Áp lực cao nhất theo yêu cầu 10-10 Pa (đạt được với thử nghiệm tuân thủ các tiêu chuẩn ISO)§ Hiệu suất bơm kép đạt được bằng model bơm tăng cường khí trơ (kiểu AX2) (so sánh với các máy bơm truyền thống của ULVAC)§ Bơm tốc độ cao đạt được trong chân không siêu cao § Bơm xuống mức chân không siêu cao trong một thời gian ngắn§ Các đặc tính bơm ở mức đỉnh tại mức chân không siêu và cực kỳ cao (việc xả được duy trì xuống mức chân không siêu cao)
Ứng dụng§ Các bộ gia tốc§ Kính hiển vi điện tử§ Các bộ phân tích
Quy cách kỹ thuật
|
