Bơm chân không phân tử gồm 2 thiết bị UTM-FH và thiết bị UTM-FW là hợp chất phân tử Turbo sử dụng 5 trục bay lên từ và kỹ thuật số lợi thế kiểm soát và thực hiện như hiệu suất cao và độ tin cậy và tiết kiệm năng lượng. UTM-FH series, đã được cải thiện tỉ lệ nén cho hydro, là áp lực lại cao và kiểu nén cao và cho ánh sáng để quá trình trung.
Dòng sản phẩm UTM của các máy bơm chân không phân tử turbo của ULVAC sử dụng các ổ trục hiệu suất cao không giống các loại sử dụng thông thường, tạo các tính năng đặc biệt.
Các tính năng
§ Các ổ trục nam châm không tiếp xúc tại đỉnh (sử dụng nam châm vĩnh cửu) và ổ xoay tại đáy (sử dụng dầu fluorine) hoàn toàn loại bỏ tiếp xúc cơ khí trong khi quay với tốc độ cao.
§ Không đòi hỏi thay đổi thời gian tiêu thụ dầu hoặc thay thế ổ trục, đem lại vòng đời dài cho ổ trục.
§ Sử dụng dầu gốc fluorine với áp suất hơi bão hoà khoảng 10-11 Pa (tại 20ºC), vì vậy không khí hoàn toàn không có dầu.
Rôto cân bằng động cao và các ổ trục hiệu suất cao cho phép có vòng quay tốc độ cao.
§ Cho phép có tỉ số nén cao cho hiđrô, hêli và khác các khí với các trọng lượng phân tử thấp.
§ Rôto cân bằng động cao và các ổ trục hiệu suất cao cho phép có thấp tiếng ồn và độ rung thấp đáng ngạc nhiên.
Ứng dụng
§ Hút chân không của các thiết bị phân tích
§ Như các máy bơm chân không thô cho các bộ gia tốc và đường tia
§ Hút chân không cho các thiết bị phòng thí nghiệm
Quy cách kỹ thuật
Model
|
UTM-50
|
UTM-150
|
UTM-300
|
UTM-500
|
UTM-1500
| |
Kích cỡ bích ĐẦU VÀO
|
CF
|
CF114
|
CF152
|
CF203
|
CF305
| |
JIS VG
|
65
|
100
|
150
|
250
| ||
Kích cỡ bích ĐẦU RA
|
NW16
|
NW25
|
NW40
|
JIS VF50
| ||
Tốc độ bơm (lít/giây) (*1, *2)
|
N2
|
50
|
190
|
300
|
550
|
1600
|
H2
|
40
|
160
|
260
|
500
|
1650
| |
Tỉ số nén tối đa(*1, *3)
|
N2
|
108
| ||||
H2
|
103
|
104
| ||||
Áp lực cao nhất(Pa) (*1, *3)
|
10-7
|
10-8
| ||||
Kiểu ổ trục
|
Đỉnh
|
ổ nam châm vĩnh cửu
| ||||
Đáy
|
ổ xoay
| |||||
Phương pháp làm mát
|
Không khí được làm mát/nước được làm mát
| |||||
*1
|
Giá trị được đo theo JVIS005 tiêu chuẩn, hoặc được tính giá trị dựa trên đó
| |||||
*2
|
Các giá trị tốc độ hút chân không là các giá trị khi sàng bảo vệ không được sử dụng.
| |||||
*3
|
Các giá trị đã cho là các yêu cầu về độ lớn.
| |||||
