Bơm chân không vòng dầu là loại bơm hút chân không cánh gạt chạy trong dầu. Cánh gạt là loại cánh composite chịu nhiệt,chịu mài mòn cao. Dầu chân không có tác dụng làm kín và làm mát bơm.
The PVD Dòng sản phẩm là các máy bơm chân không quay được dẫn động bằng đai nhỏ gọn với các đặc tính hút chân không đặc biệt. Chúng được lượng lớn các khách hàng ULVAC sử dụng.
Các tính năng
§ Các đặc tính chân không có hiệu suất hút chân không cực kỳ ổn định
§ Tiếng ồn thấp thích hợp với các môi trường nhạy cảm với tiếng ồn
§ Cấu hình khối với bảo trì và kiểm tra đơn giản cho phép có cấu trúc chắc chắn với một số bộ phận, khiến việc duy tu và bảo trì và kiểm tra khác dễ dàng và nhanh gọn.
§ Cơ cấu ngăn chảy ngược dầu của Dòng sản phẩm PVD-B được cung cấp như tiêu chuẩn.
Ứng dụng
§ Hút chân không khí hoạt tính (CVD và...khớp nối,...)
§ Hút chân không khí trơ (PVD, bay hơi, các quy trình nhiệt xử lý,...)
§ Giảm thời gian xả cho Buồng LL (LR dòng sản phẩm)
§ Hút chân không các khí trong quy trình which tạo bột (các lò tăng Si tinh thể,...)
§ Máy bơm dự phòng cho các máy bơm phân tử turbo, bơm tăng áp cơ khí,...
Quy cách kỹ thuật
Model (*1)
|
PVD-180(B)
|
PVD-360(B)
| |
Tốc độ bơm thiết kế (m3/giờ (lít/phút))
|
50Hz
|
9(155)
|
19(310)
|
60Hz
|
11(186)
|
22(372)
| |
Áp suất cuối cùng (*2)
|
Pa
|
6.7 x 10-1
| |
Động cơ (*3)
|
kW
(số cực) |
0.4(4P)
|
0.75(4P)
|
Tốc độ động cơ (vòng/phút)
|
50Hz
|
500
| |
60Hz
|
600
| ||
Khối lượng dầu cần thiết
|
L
|
0.3
|
0.5
|
Dầu (*4)
|
ULVDầU R-7
| ||
Phương pháp làm mát
|
Không khí được làm mát
| ||
Kích thước ống hút(đường kính trong x đường kính ngoài)
|
28 (đường kính) x 19 (đường kính)
|
34 (đường kính) x 27(đường kính)
| |
Kích thước ống thông gió (Ren vặn đường ống JIS)
|
G3/4(PF3/4)
|
G1(PF1)
| |
Trọng lượng (máy bơm + thân)
|
kg
|
33.5
|
43
|
Kích thước bên ngoài
|
Tổng chiều dàix tổng chiều rộng x tổng chiều cao (mm)
|
450 x 235 x 321
|
(500) x 275 x 321
|
Phụ kiện tiêu chuẩn
|
Đế máy, bọc đai, puli có động cơ, Đai chữ V,
dầu cho 1 động cơ | ||
Thiết bị chọn thêm
|
TMX-1 bộ lọc sương dầu, bộ nối bộ lọc sương dầu, C-1/2 Đế máy có tay cầm và bánh xe nhỏ
| ||
