Sử dụng hiệu quả nhiệt nén có công nghệ đồng nhất nhiệt độ cao đã đem lại cho dòng sản phẩm bơm chân không khô này một độ bền cao trong các quy trình làm việc nặng của CVD,...khớp nối...Trong các quy trình nhẹ, xấp xỉ đến 70% công suất tiêu thụ điện giảm là có thể có bằng cách có được ECHO-SHOCK trên máy bơm. Mác CE sẵn có cho mọi dòng sản phẩm (chọn thêm).
Các tính năng
§ Dòng sản phẩm LR: Máy bơm tối ưu có sự đồng nhất phân phối nhiệt thấp cho việc hút chân không buồng LL, ngoài các quy trình PVD, trong đó việc giảm thời gian xả là quan trọng để nâng cao thông lượng.
§ Dòng sản phẩm HR: Với khả năng đồng nhất phân phối nhiệt cao. Máy có thể có xả các chất thăng hoa tạo bởi CVD và...khớp nối các quy trình trong một trạng thái chứa khí.
§ Tiếng ồn giảm PDR-180C: 74dB → LR180: 68.5dB
§ Máy bơm chịu các khoảng ngừng công suất đến thời lượng 500ms.
§ Mác CE sẵn có theo yêu cầu.
Ứng dụng
§ Hút chân không khí hoạt tính (CVD và...khớp nối,...)
§ Hút chân không khí trơ (PVD, bay hơi, các quy trình nhiệt xử lý,...)
§ Giảm thời gian xả cho Buồng LL (LR dòng sản phẩm)
§ Hút chân không các khí trong quy trình which tạo bột (các lò tăng Si tinh thể,...)
§ Máy bơm dự phòng cho các máy bơm phân tử turbo, bơm tăng áp cơ khí,...
Quy cách kỹ thuật
Công suất
|
Quy cách kỹ thuật
|
AC200V 50/60Hz,
AC220V 60Hz 3pha
| ||||||||||
Model
|
LR/
HR 60 |
LR/
HR 90 |
LR
180 |
LR/
HR 300 |
LR/
HR 600 |
LR/
HR 1200 |
LR
1800 | |||||
Công suất động cơ
(kW) |
Bơm tăng áp
|
-
|
-
|
-
|
0.75
|
2.2
|
3.7
|
5.5
| ||||
Bơm khô
|
2.2
|
3.7
|
5.5
|
2.2
|
3.7
|
3.7
|
5.5
| |||||
Bộ ngắt
(A) |
Bơm tăng áp
|
-
|
-
|
-
|
7
|
16
|
25
|
32
| ||||
Bơm khô
|
16
|
25
|
32
|
16
|
25
|
25
|
32
| |||||
Current
(A) |
ở mức tải tối đa
|
7.0/
7.3 |
11.8
|
20.6
|
9.6/
8.1 |
19.0/
13.8 |
24.2/
18.9 |
39.8
| ||||
ở áp lực chân không tối đa.
|
6.9/
7.1 |
11.2
|
18.9
|
7.0/
7.8 |
12.3/
12.9 |
13.7/
15.4 |
21.4
| |||||
Nước làm mát
|
Áp lực cung cấp (MPa)
|
0.1 đến 0.3 MPa
| ||||||||||
Áp suất chênh lệch đầu vào/đầu ra
(MPa) |
0.1 MPa <
| |||||||||||
Tốc độ lưu lượng (Lít/phút)
|
5.0 Lít/phút <
| |||||||||||
Nhiệt độ nước cấp
(°C) |
10 đến 30°C *1)
| |||||||||||
Khí nitơ
|
Áp lực cung cấp e (Áp suất áp kế MPa)
|
0.1 đến 0.5 MPa
| ||||||||||
Áp suất quy định
(Áp suất áp kế MPa) |
0.05 Mpa
(Áp suất quy định in máy bơm)
| |||||||||||
Tốc độ lưu lượng(SLM)
|
Vòng bít trục
|
5 SLM
| ||||||||||
Gas ballast
|
0 đến 45 SLM
| |||||||||||
*1: Không lắng cặn.
| ||||||||||||
Bảng so sánh LR/HR
| ||||||||||||
Model
|
LR
|
HR
| ||||||||||
Nhiệt độ máy bơm bên trong
|
Các nhiệt độ đồng nhất nhiệt độ tại thấp
|
Các nhiệt độ đồng nhất nhiệt độ tại cao
| ||||||||||
Lớp phủ
|
Lớp phủ bề mặt đặc biệt
| |||||||||||
Bộ gia nhiệt cho ống sau chống ăn mòn hoá chất
|
không
|
tiêu chuẩn
| ||||||||||
