Bơm chân không khuếch tán là thiết bị được dùng để tạo ra chân không cao ở mức độ trung bình (từ 10-3 - 10-7 Torr). Máy bơm hoạt động dựa trên nguyên lý khuếch tán các phân tử khí nhờ sự hấp phụ của các phân tử dầu bị bay hơi.
![[IMG]](https://lh3.googleusercontent.com/blogger_img_proxy/AEn0k_u90ztnE7DV-1BToORXQk943myIZFq56laLdNp8G_rDL-_rK_wthROGYEhX_Ojo-TA71NK68QI2mB2mR8nG7M1JVn7x4FqU1jXYIvzUl41WLBsfI4P9OF0ASOyT1gk8GqCx4VuX=s0-d)
Bơm khuếch tán chỉ có thể làm việc khi môi trường đạt độ chân không sơ cấp cần thiết (từ 10-3 đến 10-4 Torr). Để có thể đạt được chân không đó, ban đầu người ta dùng một bơm sơ cấp là bơm chân không cơ học để tạo ra chân không sơ cấp ban đầu. Cấu tạo chính của loại bơm chân không khuếch tán là một buồng đốt nhiều tầng. Người ta sử dụng buồng đốt để đun sôi một loại dầu (gọi là dầu chân không) có nhiệt độ hóa hơi thấp. Các dòng hơi dầu khi bay hơi lên sẽ hấp phụ các phân tử khí khuếch tán từ môi trường cần tạo chân không cao. Sau khi hấp phụ, dầu được làm lạnh và bị rơi xuống, nhả các phân tử khí theo một đường khác (nhờ hệ bơm cơ học đi kèm) và quay trở lại buồng đốt. Bơm chân không khuếch tán có ưu điểm là dễ dàng tạo ra chân không với công suất lớn và tốc độ làm việc nhanh (có thể tới vài chục mét khối trong một giây) và có giá thành thấp- Nhược điềm của bơm khuếch tán là giới hạn làm việc, nó không thể tạo ra các chân không quá lớn (chỉ không quá 10-7 Torr, đạt tới 10-8 Torr là rất khó) và để hoạt động được, nó đòi hỏi lượng nước làm lạnh rất lớn.
Các tính năng
§ Được thiết kế cho áp suất ngược chính lớn
§ Hiệu suất cực kỳ ổn định tại các áp suất giảm xuống 10-2 Pa (10-4 torr)
§ Sử dụng các mặt bích ống (ngoại trừ các mặt bích lỗ thông gió trên ULK-04A và 06A)
§ Các máy bơm có thể được làm sạch dễ dàng (các phần có thể được tháo dễ dàng).
§ Cùng với cơ cấu ngắt dòng chất lỏng công tác đến bơm phụ.
Văn phòng đại diện ULVAC tại Việt Nam
Bơm khuếch tán chỉ có thể làm việc khi môi trường đạt độ chân không sơ cấp cần thiết (từ 10-3 đến 10-4 Torr). Để có thể đạt được chân không đó, ban đầu người ta dùng một bơm sơ cấp là bơm chân không cơ học để tạo ra chân không sơ cấp ban đầu. Cấu tạo chính của loại bơm chân không khuếch tán là một buồng đốt nhiều tầng. Người ta sử dụng buồng đốt để đun sôi một loại dầu (gọi là dầu chân không) có nhiệt độ hóa hơi thấp. Các dòng hơi dầu khi bay hơi lên sẽ hấp phụ các phân tử khí khuếch tán từ môi trường cần tạo chân không cao. Sau khi hấp phụ, dầu được làm lạnh và bị rơi xuống, nhả các phân tử khí theo một đường khác (nhờ hệ bơm cơ học đi kèm) và quay trở lại buồng đốt. Bơm chân không khuếch tán có ưu điểm là dễ dàng tạo ra chân không với công suất lớn và tốc độ làm việc nhanh (có thể tới vài chục mét khối trong một giây) và có giá thành thấp- Nhược điềm của bơm khuếch tán là giới hạn làm việc, nó không thể tạo ra các chân không quá lớn (chỉ không quá 10-7 Torr, đạt tới 10-8 Torr là rất khó) và để hoạt động được, nó đòi hỏi lượng nước làm lạnh rất lớn.
Các tính năng
§ Được thiết kế cho áp suất ngược chính lớn
§ Hiệu suất cực kỳ ổn định tại các áp suất giảm xuống 10-2 Pa (10-4 torr)
§ Sử dụng các mặt bích ống (ngoại trừ các mặt bích lỗ thông gió trên ULK-04A và 06A)
§ Các máy bơm có thể được làm sạch dễ dàng (các phần có thể được tháo dễ dàng).
§ Cùng với cơ cấu ngắt dòng chất lỏng công tác đến bơm phụ.
Văn phòng đại diện ULVAC tại Việt Nam
- Địa chỉ: Room V.I.P 7, 4th Floor, Block B, Indochina Park Towe,04 Nguyen Dinh Chieu, Da Kao Ward, Dist.1
- Điện thoại: (84)-8-6299 8262
- Hot line: 0935 767 477 ( Mr. Tráng )
- Fax: (84)-8-6288 2605
- Email: huynh_trang@ulvac.com
